导电陶瓷
导电陶瓷为抗静电材料,一体成型不含任何重金属,比传统APS键铁氟龙有更好的质量优势,抗静电寿命更长,没有掉粉风险,良率更高。尤其在先进制程7纳米以下,使用导电陶瓷更是有其必要性。目前在TSMC已经通过验证,且已正式供资使用。
本产品广泛应用于芯片和显示面板制造。
参数规格
参数规格：
类目 | KR1 | KR7 | KR9 | KR11 | |
陶瓷成分 | 氧化铝（%） | NA | >70 | >80 | >90 |
导电成分（%） | >90 | >10 | <10 | <10 | |
其他（%） | <3 | >10 | >3 | >3 | |
密度（g/cm3） | 4.1 | 3.4 | 3.7 | 3.7 | |
色调 | Black | Black/Gray | Black/Gray | Black/Gray | |
抗弯强度（Mpa） | 300 | 300 | 330 | 330 | |
杨氏模量（Gpa） | 280 | 275 | 358 | 358 | |
Hv硬度 | 800 | 700 | 1150 | 1150 | |
泊松比 | 0.27 | 0.23 | 0.24 | 0.24 | |
热膨胀系数（0-800℃） | 8.8*10-6 | 7.5*10-6 | 7.7*10-6 | 7.7*10-6 | |
导热系数（W/m·k） | 5.5 | 15 | 25 | 25 | |
体积电阻（Ω·cm） | <1*103 | 1*105~8 | 1*109~11 | 1*1010~12 | |
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