ITO靶材是铟锡氧化物功能陶瓷材料,主要用于磁控溅射制备ITO透明导电薄膜。
AZO靶材是锌铝氧化物功能陶瓷材料,主要用于磁控溅射制备AZO透明导电薄膜。
以等离子体为热源将相应粉末加热到熔融或半熔融状态并高速冲击背管表面形成致密涂层,从而制备出高纯度、高致密度TZO靶材。
以等离子体为热源将相应粉末加热到熔融或半熔融状态并高速冲击背管表面形成致密涂层,从而制备出高纯度、高致密度ZrOx靶材。
以等离子体为热源将相应粉末加热到熔融或半熔融状态并高速冲击背管表面形成致密涂层,从而制备出高纯度、高致密度SiZr靶材。
以等离子体为热源将相应粉末加热到熔融或半熔融状态并高速冲击背管表面形成致密涂层,从而制备出高纯度、高致密度SiAl靶材。
以等离子体为热源将相应粉末加热到熔融或半熔融状态并高速冲击背管表面形成致密涂层,从而制备出高纯度、高致密度Si靶材。
以等离子体为热源将相应粉末加热到熔融或半熔融状态并高速冲击背管表面形成致密涂层,从而制备出高纯度、高致密度NbOx旋转靶材。
以等离子体为热源将相应粉末加热到熔融或半熔融状态并高速冲击背管表面形成致密涂层,从而制备出高纯度、高致密度Ag靶材。
掌握原料粉体的合成技术,以及外购粉体的二次处理技术(如改善团聚、烧结活性)。
具有成熟的量产技术和Know-How,具备薄膜金属化工艺及靶材的开发能力。
强度高、绝缘性好、导热和耐热性能优良、热膨胀系数小、化学稳定性好等优点。
技术和生产管理团队具有丰富的浆料制备、流延成型、烧结、陶瓷金属化经验。
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