产品介绍

AZO靶材是锌铝氧化物功能陶瓷材料，主要用于磁控溅射制备AZO透明导电薄膜。以等离子体为热源将相应粉末加热到熔融或半熔融状态并高速冲击背管表面形成致密涂层，从而制备出高纯度、高致密度AZO靶材。

应用领域

薄膜太阳能电池

Low-E镀膜玻璃

汽车镀膜玻璃

产品特点

密度高，成膜质量好。

使用功率高，约13kW/m。

溅射速率、使用效率比同类产品高。