氧化锆靶材
产品介绍
以等离子体为热源将相应粉末加热到熔融或半熔融状态并高速冲击背管表面形成致密涂层，从而制备出高纯度、高致密度ZrOx靶材。
应用领域
光学玻璃AR膜系
Low-E镀膜玻璃
工具镀膜和装饰镀膜
产品中心
参数规格
| 组份（wt%） | 氧化锆 |
| 纯度（%） | ≥99.9 |
| 密度（g/cm³） | ≥5.4 |
| 杂质含量 | Al≤100 Cr≤50 Ti≤100 Fe≤200 |
| 杂质总和≤1000 | |
| 电阻率（Ω·cm） | ≤0.5 |
| 背管材质 | 选用304/316L不锈钢（无磁） |
| 靶材尺寸 | 按照图纸要求加工 |
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