ITO靶材是铟锡氧化物功能陶瓷材料,主要用于磁控溅射制备ITO透明导电薄膜。采用最先进的常压烧结工艺,多个靶管/靶块拼接贴合为ITO靶材成品。
采用专有技术生产的ITO粉体,烧结密度高,微结构均匀;具有导电导热性好,强度高等优点,减少结瘤现象和微电弧的出现。
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