SiZr旋转靶

SiZr旋转靶


产品介绍

以等离子体为热源将相应粉末加热到熔融或半熔融状态并高速冲击背管表面形成致密涂层,从而制备出高纯度、高致密度SiZr靶材。


应用领域

Low-E镀膜玻璃

触摸屏

显示器

薄膜光伏


参数规格

组份(wt%)Si:Zr=58.5:36.5
纯度(%)≥99.9
密度(g/cm³)≥2.87
电阻率(Ω·cm)≤0.5

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