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陶瓷靶材粉体
产品介绍
已开发出氧化锌铝(AZO)、 氧化锌锡(TZO)、导电氧化铌(NbOx)、导电氧化锆(ZrOx)等多种陶瓷靶材粉体。
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参数规格
品名
化学式
纯度
粒径
氧化锌铝
AZO(Zn98Al2)
3N5/4N
180~325目
氧化锌锡
TZO(Zn52Sn48)
3N5/4N
180~325目
氧化锌铝镁
MZO
3N5/4N
180~325目
氧化铌
NbOx(白色/黑色)
3N5
180~325目
导电氧化锆
ZrOx(灰褐色)
3N
180~325目
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