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陶瓷涂层粉体
产品介绍
陶瓷涂层粉体产品主要包括氧化铝(Al
2
O
3
)、氧化锆(ZrO
3
)等。应用于半导体刻蚀设备腔体涂层、耐磨耐腐蚀耐高温涂层、军工涂层等应用领域。
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参数规格
品名
化学式
纯度
粒径
氧化铝
Al
2
O
3
3N5
15~45μm
氧化锆
ZrO
2
3N
15~106μm
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