TZO靶材
产品介绍
以等离子体为热源将相应粉末加热到熔融或半熔融状态并高速冲击背管表面形成致密涂层，从而制备出高纯度、高致密度TZO靶材。
应用领域
光学玻璃AR膜系
Low-E镀膜玻璃
工具镀膜和装饰镀膜
产品特点
成膜均匀性≤3%
溅射功率约12.5kW/m
溅射速率高，是金属锌锡的1.8-2倍
产品中心
参数规格
| 组份（wt%） | ZnO:SnO2 52±2:48±2 |
| 纯度（%） | ≥99.9 |
| 密度（g/cm³） | ≥5.4 |
| 杂质含量 | Al≤200 Si≤200 In≤200 Fe≤30 |
| 杂质总和≤1000 | |
| 电阻率（Ω·cm） | ≤0.5 |
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